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無(wú)塵高溫箱,無(wú)塵烘箱,潔凈烘箱,無(wú)塵烤箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱,無(wú)塵干燥箱,百級(jí)無(wú)塵烤箱,100級(jí)潔凈烤箱

Class 100 Clean Ovens






Lab Companion 無(wú)塵高溫箱系列最高工作溫度300°C。
客戶的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)入處理流程，均在符合 ISO14644-1 class5* 標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)境中運(yùn)行。所有污染微粒的來(lái)源完全密封。不銹鋼內(nèi)壁易清洗，光澤的白色環(huán)氧樹(shù)脂涂層外墻能防止微粒脫落的污染。
*Federal 209E Class100 標(biāo)準(zhǔn)在2001年已由ISO14644-1 class 5標(biāo)準(zhǔn)取代。




一．用途:
Lab Companion 無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。





二．特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。



三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：



1.主要技術(shù)指標(biāo)：
 無(wú)塵等級(jí)：Class 100;                  

 溫度范圍： RT+20～ +200℃/+300℃；

溫度均勻度：200℃±4℃;             

溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）        

溫控精度：±0.1℃;                        

工作尺寸：216L ,324L,768L,無(wú)塵等級(jí)和尺寸可根據(jù)要求定制。
       

電源：380v , 50Hz，        

網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))




產(chǎn)品名稱(chēng)	型號(hào)	溫度范圍	潔凈度	內(nèi)容積	內(nèi)尺寸(W×H×Dmm)	外尺寸（WxHxDmm）
無(wú)塵高溫箱	OVEN-216C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	216L	600×600×600	770×1200×925
無(wú)塵高溫箱	OVEN-324C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	324L	600×900×600	770×1500×925
無(wú)塵高溫箱	OVEN-768C	(RT＋20℃)～＋200℃	Class 100	768L	800×1200×800	1030×1800×1145
無(wú)塵高溫箱	OVEN-216CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	216L	600×600×600	770×1200×925
無(wú)塵高溫箱	OVEN-324CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	324L	600×900×600	770×1500×925
無(wú)塵高溫箱	OVEN-768CH	(RT＋20℃)～＋300℃	Class 100	768L	800×1200×800	1030×1800×1145